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213nm深紫外單縱模激光器

簡(jiǎn)要描述:213nm深紫外單縱模激光器,,適用于光學(xué)計(jì)量、213納米光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器帶寬控制等應(yīng)用。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-12-05
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:212
詳細(xì)介紹
品牌昊量光電產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

213nm深紫外單縱模激光器

德國(guó)xiton photonics公司是二極管泵浦固體激光器非線(xiàn)性光學(xué)器件的專(zhuān)家。可以開(kāi)發(fā)和制造幾乎任何所需波長(zhǎng)的可靠激光系統(tǒng),擁有20多年的激光器研發(fā)經(jīng)驗(yàn),重點(diǎn)開(kāi)發(fā)深紫外和紫外激光器。        

       IXION SLM 213是一款單縱模全固態(tài)激光系統(tǒng),適用于光學(xué)計(jì)量、213納米光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器帶寬控制等應(yīng)用。光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該激光器在M2< 1.6的衍射受限光束中提供持續(xù)時(shí)間為6 - 8ns的短輸出脈沖,重復(fù)頻率在1至15 kHz之間。在213nm處,平均輸出功率高達(dá)100mw,具有超穩(wěn)定的脈沖走線(xiàn)和超過(guò)1.5 m的高相干長(zhǎng)度,這是傳統(tǒng)激光器無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。



       

213nm深紫外單縱模激光器參數(shù):

Wavelength/波長(zhǎng)

213 nm

Average power/平均功率

100mW

Pulse duration/脈寬

typ 6-8 ns

Energy per pulse/單脈沖能量

10µJ

Repetition rate/重復(fù)頻率

1-15 kHz

beam quality/光斑質(zhì)量

M2 < 1.6

Spectral bandwith/譜寬

< 100 MHz

深紫外單縱模激光器產(chǎn)品特點(diǎn):

光譜帶寬


光斑質(zhì)量



深紫外單縱模激光器產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 光譜儀校準(zhǔn)

  • 光刻

  • 干涉測(cè)量

  • 晶圓檢測(cè)

  • 全息測(cè)量

  • 光致發(fā)光


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