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新機來襲！德國非接觸方塊電阻測試儀樣機預約體驗
EddyCus® lab 2020 系列方塊電阻測試儀樣機是一款臺式實驗系統，它采用渦流技術，替代四探針方案，用于非接觸式單點測量導電薄膜的金屬層厚度和方塊電阻。它能夠快速、精確地測量zui大200 x 200 mm2（8 x 8英寸）樣品，并支持多種材料，包括薄金屬層、晶圓和導電聚合物等材料。
非接觸式單點方塊電阻測試儀提供了一種現代、無接觸的傳統四點探頭（4PP）及其他接觸式測量方法的替代方案。無需物理接觸，無需表面準備，且不受封裝或表面粗糙度的影響。
lab 2020 系列方塊電阻測試儀能夠測量多個參數。方塊電阻與金屬層厚度、發射率和電阻率相關。只要材料性質明確，所有這些參數都可以高精度測量。
測量參數：
金屬厚度(nm, um)
方塊電阻(Ohm/sq)
發射率
電導率/電阻率(mOhm·cm)
電各向異性(%)
重量 (g/m’) 和烘干狀態 (%)
滲透性(H/m) Beta
四探針傳統方法對比
| 對比維度 | 四探針測試 | 非接觸電渦流測試（EddyCus） |
方案 |  |  |
| 接觸方式 | 觸點式測量，觸點質量影響結果 | 非接觸式，實時無損 |
| 測量范圍 | 單點測量，部分支持Mapping成像 | 高分辨率Mapping成像，支持在線過程控制 |
| 對樣品影響 | 可能損壞敏感面，無法測量封裝后薄膜 | 對敏感膜無傷害或偽影，可測封裝膜層和多層膜系統 |
| 測量類型 | 僅支持單點方塊電阻測試 | 支持多種膜層與系統測量 |
| 探頭耐久性 | 探頭隨時間磨損 | 無磨損，使用壽命長 |
| 適用場景 | 適用于部分簡單薄膜測量 | 適用于觸摸型敏感層及多層膜系統等精密場景 |
Mapping圖
應用場景
導電薄膜
觸摸面板
導電紡織品
智能玻璃
電池電極
各類晶圓等
樣機設備適配參數
| 基板面積 | 8 inch / 204 mm × 204 mm（三面開放） |
| zui大樣本厚度 / 傳感器間隙 | 3 / 5 / 10 / 25 mm（由zui厚的樣本確定） |
| 方阻范圍 | 0.001 – 3,000 Ω/sq |
| 方阻準確性/偏差 | ±1 – 3% |
| 方阻重復性 (2σ) | <0.3 – 3% |
金屬厚度范圍與精度 | 低：1 – 10 nm；精度 2 – 5 % |
| 標準：10 – 1,000 nm；精度 1 – 3 % | |
| 高：1 – 100 μm；精度 0.5 – 3 % | |
| （精度受設置及金屬類電導率影響） | |
電阻率測量 | 3 mm線圈：1 – 100 mΩ·cm；精度 < 3%，重復性 < 0.3% |
| 9 mm線圈：1 – 1,000 mΩ·cm；精度 < 5%，重復性 < 2% | |
薄層電阻測量 | 3 mm線圈：0.01 – 10 Ω/sq；精度 1 – 3%，重復性 < 1% |
| 9 mm線圈：0.01 – 100 Ω/sq；精度 < 3%，重復性 < 0.3% | |
| 設備尺寸(寬 × 高 × 深) | 11.4" × 5.5" × 17.5" / 290 mm × 140 mm × 445 mm |
| 設備重量 | 10 kg |
設備控制和軟件
上海昊量光電是德國EddyCus® lab 2020 系列的中國代理商，新引進的方塊電阻測試儀樣機現已開放預約！誠邀各領域研發、質檢與生產單位參與體驗，親身體驗非接觸式測量的精準與高效。
體驗時間：即日起至2026年2月10日
體驗形式：寄樣測試（上門測試限部分地區）
更多詳情請聯系昊量光電/歡迎直接聯系昊量光電
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